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技術參數：
應用領域 | 本設備適用于芯片、航空、汽車、工礦企業、家電、實驗室、科研單位及 大專院校等領域對其產品及材料進行高溫烘烤、溫度度干燥、低真空密封 試驗、無氧處理，高溫去應力、高溫固化等應用。 |
工作原理 | 操作屏設定工作溫度值，保溫時間設置、溫度與時間自動保持，手動抽氣 真空度值，手動解除真空閥。 |
產品名稱 | 光刻膠專用脫泡烘箱 |
控溫范圍 | RT+15~100℃ |
溫度分辨率 | ±0.1℃ |
溫度波動度 | ±0.3℃ |
傳感器精度 | ±0.1℃ |
真空度控制范圍 | 0.1MPa |
設計殘余真空度 | 50Pa |
真空壓力定義 | 機械相對壓力 |
真空解除 | 獨立的機械手動閥門解除真空 備注：解除真空可采用進入空氣也可選用氮氣進入解除 |
氮氣流量控制 | 1~l0L/min 手動可調 |
氮氣進氣控制 | 腔體左側面靠前進氣，采用KF 鏡面不銹鋼內部焊接轉接寶塔 10mm 配硅膠 管連接過濾器進入腔體內 |
抽氣口控制 | 面板設計不銹鋼球閥，抽氣在腔體左側靠前采用KF 接頭內部焊接后轉寶塔 連接硅膠管 |
主溫度控制器 | 高精度微電腦液晶控溫儀，采用PID與經驗值模糊控制技術，控溫精確、 工作溫度與運行時間任意設定 |
真空度形成用時 | 約 5 分鐘 |
真空度解除用時 | 約 5 分鐘 |
箱體結構 | 采用臺式結構設計，右面為高溫真空腔體，左箱為電器控制系統，腔體內 有三層可活動托盤、真空泵獨立、腔體內設有抽氣口、氮氣進氣口。 |
外殼材料 | 優質冷軋板噴涂處理 |
內膽材料 | 優質SUS304 厚度 3mm 鏡面不銹鋼板，內部圓滑滿焊，表面電解拋光處理噴 涂四氟 |
箱門結構 | 1、不銹鋼板連接制成 (鋼化玻璃觀察窗功能) 2、手動緊迫鎖緊 |
門封材料 | 箱門閉合松緊能調節，內膽邊采用嵌入槽式結構，整體成型日本進口 T 型 透明本色硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度，潔凈度無脫落 |
保溫材料 | 耐高溫硅酸鋁纖維棉 |
傳感器 | 高溫 PT100 型熱電偶置于內膽后壁 |
保護與警報裝置 | 獨立超溫報警切斷加熱電源 漏電保護 過流檢測 接地等保護 |
加熱方式 | 外部捆綁式加熱 (304 不銹鋼型加熱管) |
擱 板 | 特氟龍開孔板，孔徑 10mm，將樣品直接擺放，最大負載 5Kg |
真空系統 | 1、抽氣能力4L/S/1 臺渦旋干泵 (可以同時抽氣兩臺真空腔體) 2、廢氣連接管路 3、放氣與進氣電磁閥件 4、抽氣壓差閥件 5、雜物過濾裝置 6、硅膠負壓抽氣管 |
加熱功率 | 1.4KW |
真空泵功率 | 0.75KW (220V 電源) |
真空箱電源 | AC220V/50HZ 單相三線制 |
其 他 | 設備自重 85Kg |
關鍵工藝 | 1、內腔體 304 不銹鋼內外圓弧滿焊接后電解處理表面 2、外殼體電解處理表面 3、外加強筋緊固件 304 材質 4、殼體安裝過后再解體清理所有安裝鐵屑與灰塵 5、外部加熱器采用不銹鋼 304 材質 6、潔凈鋼化玻璃門 7、不銹鋼螺絲與不銹鋼鉸鏈 8、不銹鋼拉手門鎖 9、腔體內 316 導條固定螺栓 10、導條固定尼龍螺母 11、特氟龍 L 型導條 12、特氟龍厚度 15mm 開孔物品托盤 13、抽氣閥 316 不銹鋼 14、進氣閥 316 不銹鋼 15、優質本色硅膠負壓管路 16、嵌槽式密封圈結構 |